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FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。